半导体行业中的湿度要求

　　半导体的生产工厂要在全年四季的气候条件下，生产车间内部要求维持稳定的环境，特别是对于生产环境的温度、湿度、空气cq9电子度、气流组织，压力平衡等多个空调参数都提出了严格的要求。有别于其他的恒温恒湿环境系统的要求，由于电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其品质的影响，其对湿度的精度提出了严格要求，对于空调系统的配置，则要求系统同时具备夏季除湿的功能和冬季加湿的功能。

　　一般的，半导体生产行业的温湿度条件为：T=22±2°C，RH=45±5%；而对于这个温湿度要求，传统上经常采用冷冻除湿+后加热（再热）方式进行处理，并取得了一定成果。但这种方式却存在着一个致命问题，冷热的抵消和能耗的巨大浪费，特别是由于半导体行业的大新风，大排风系统、生产环境为大空间cq9电子环境以及目前许多厂主要集中分布在华南和cq9电子地区的特殊情况，使得这个问题十分突出。

　　因此，在最新的许多半导体厂房的空调系统开始使用新风通过新风机组（冷却除湿）和转轮除湿机联合处理湿度、温度而后通过后空调机组处理的组合方式，达到室内送风温、湿度要求，并取得了显著收益。